製品詳細情報

高真空システム

薄膜太陽電池製造に使用されるCIGS蒸着用装備 LED、ディスプレイ、半導体などの製造に多く使用される 電子ガン蒸着装備

真空中でナノサイズの薄い膜（金属、非金属、酸化物、化合物）を つくる核心部品 真空容器の中に装着された真空蒸発源（Effusion Cell)らは 内部のるつぼを高温に加熱することができる熱源が位置しており、 るつぼを加熱するとるつぼの中の蒸発源(Source)が 高温に加熱されて蒸発し、蒸発された物質は上部にある基盤(Substrate)に 到達してナノサイズの薄い膜(薄膜)がつくられる

薄膜太陽電池、OLED、電子ペーパーなどの製造に使用される 核心部品及びコントローラーとして下の方向へ蒸発させられる 韓国最高の蒸発装置(最初商品化予定) 韓国内唯一のプラズマセル

薄膜太陽電池、OLED、ディスプレイ、半導体などの製造に 使用される核心部品として、 大部分の金属及び無機物薄膜製造に使用される (円形と四角形二つのタイプ)